خلاصو: انهي حقيقت کي نظر ۾ رکندي ته موجوده بناوت واري سرڪيولر ويفٽ نِٽنگ مشين جي بناوت جي عمل ۾ يارن پهچائڻ واري حالت جي نگراني بروقت نه آهي، خاص طور تي، عام غلطين جي تشخيص جي موجوده شرح جهڙوڪ گهٽ يام ٽٽڻ ۽ يارن هلائڻ، هن پيپر ۾ سرڪيولر نِٽنگ مشين جي يارن فيڊنگ جي نگراني جو طريقو تجزيو ڪيو ويو آهي، ۽ پروسيس ڪنٽرول جي ضرورتن سان گڏ، انفراريڊ حساسيت جي اصول تي ٻڌل يارن جي هڪ خارجي نگراني اسڪيم تجويز ڪئي وئي آهي. فوٽو اليڪٽرڪ سگنل پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي نظريي جي بنياد تي، يارن موشن مانيٽرنگ جو مجموعي فريم ورڪ ٺاهيو ويو آهي، ۽ اهم هارڊويئر سرڪٽ ۽ سافٽ ويئر الگورتھم ٺاهيا ويا آهن. تجرباتي ٽيسٽن ۽ مشين تي ڊيبگنگ ذريعي، اسڪيم سرڪيولر ويفٽ نِٽنگ مشينن جي بناوت جي عمل دوران يارن جي حرڪت جي خاصيتن جي بروقت نگراني ڪري سگهي ٿي، ۽ عام غلطي جي تشخيص جي صحيح شرح کي بهتر بڻائي سگهي ٿي جهڙوڪ يارن ٽٽڻ ۽ يارن هلائڻ. سرڪيولر ويفٽ نِٽنگ مشين، جيڪا چين ۾ ٺاهيل سرڪيولر ويلٽ نِٽنگ مشينن جي بناوت جي عمل ۾ يارن جي متحرڪ ڳولا ٽيڪنالاجي کي پڻ فروغ ڏئي سگهي ٿي.
اهم لفظ: سرڪيولر ويفٽ نِٽنگ مشين؛ يام پهچائڻ جي حالت؛ نگراني؛ فوٽو اليڪٽرڪ سگنل پروسيسنگ ٽيڪنالاجي؛ ٻاهرين لٽڪندڙ يارن مانيٽرنگ اسڪيم؛ يارن موشن مانيٽرنگ.
تازن سالن ۾، تيز رفتار، ميڪيڪل سينسرز، پيزو اليڪٽرڪ سينسرز، ڪيپيسٽيو سينسرز، ۽ ڪارآمد يارن جي ڀڃڪڙي جي ترقي سرڪلر نٽنگ مشينن ۾ سگنل جي سطح کي تبديل ڪندي صحيح سينسرز، فلوئڊ سينسرز، ۽ فوٽو اليڪٽرڪ سينسرز جي ترقي جو سبب بڻي آهي، يارن جي حرڪت جي حالت جي تشخيص لاءِ. پيزو اليڪٽرڪ سينسرز يارن جي حرڪت جي نگراني ڪرڻ کي اهم بڻائين ٿا1-2). اليڪٽرو-مڪينيڪل سينسر آپريشن دوران سگنل جي متحرڪ خاصيتن جي بنياد تي يارن جي ڀڃڪڙي کي ڳوليندا آهن، پر يارن جي ڀڃڪڙي ۽ يارن جي حرڪت سان، جيڪي يارن کي بناوت جي حالت ۾ راڊ ۽ پنن سان اشارو ڪن ٿا جيڪي ترتيب وار جھول يا گھمائي سگهن ٿا. يارن جي ڀڃڪڙي جي صورت ۾، مٿي ذڪر ڪيل ميڪيڪل ماپن کي يارن سان رابطو ڪرڻو پوندو آهي، جيڪو اضافي ٽينشن وڌائيندو آهي.
في الحال، يارن جي حيثيت بنيادي طور تي اليڪٽرانڪ حصن جي جھولڻ يا گردش ذريعي طئي ڪئي ويندي آهي، جيڪو يارن جي ڀڃڪڙي الارم کي متحرڪ ڪري ٿو ۽ پيداوار جي معيار کي متاثر ڪري ٿو، ۽ اهي سينسر عام طور تي يارن جي حرڪت کي طئي ڪرڻ جي قابل نه هوندا آهن. ڪيپيسٽو سينسر يارن جي نقل و حمل دوران اندروني ڪيپيسٽو فيلڊ ۾ اليڪٽرو اسٽيٽڪ چارج جي چارج اثر کي پڪڙڻ سان يارن جي غلطي جو تعين ڪري سگهن ٿا، ۽ فلوئڊ سينسر يارن جي ڀڃڪڙي جي ڪري سيال جي وهڪري جي تبديلي کي ڳولي ڪري يارن جي غلطي جو تعين ڪري سگهن ٿا، پر ڪيپيسٽو ۽ فلوئڊ سينسر ٻاهرين ماحول لاءِ وڌيڪ حساس هوندا آهن ۽ سرڪيولر ويفٽ مشينن جي پيچيده ڪم ڪندڙ حالتن سان مطابقت نٿا رکي سگهن.
تصوير جي سڃاڻپ سينسر يارن جي حرڪت واري تصوير جو تجزيو ڪري سگهي ٿو ته جيئن يارن جي خرابي جو اندازو لڳائي سگهجي، پر قيمت مهانگي آهي، ۽ هڪ بناوٽ ويفٽ مشين کي عام پيداوار حاصل ڪرڻ لاءِ اڪثر ڪري درجنين يا سوين تصوير جي سڃاڻپ سينسر سان ليس هجڻ جي ضرورت هوندي آهي، تنهن ڪري بناوٽ ويفٽ مشين ۾ تصوير جي سڃاڻپ سينسر وڏي مقدار ۾ استعمال نه ٿي سگهي.
پوسٽ جو وقت: مئي-22-2023